大理石平臺采用自然形成的石料通過人工精研從而達(dá)到理想精度。用途廣泛是大理石平臺的一大特點(diǎn),在實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)、檢測室檢測及各種平面度檢測工作中都能看到它的身影。今兒咱們介紹的是大理石平臺的另一用途,用在大理石氣浮平臺的制作中。
大理石平臺加裝氣浮裝置后,就是氣浮平臺了。氣浮測量裝置屬于二自由度龍門式測量裝置。運(yùn)動滑塊裝配在大理石導(dǎo)軌上,滑塊內(nèi)裝有多孔質(zhì)氣浮軸承,氣體通過空氣過濾器和精密減壓閥提供給氣浮軸承保證滑塊在導(dǎo)軌上基本無摩擦運(yùn)行。
大理石氣浮平板的精度要求是比較高的,為了進(jìn)一步提高大理石平臺的光潔度及精度,我們需要對大理石平面進(jìn)行多次研磨。研磨前要進(jìn)行研磨平板、磨料的選擇。生產(chǎn)過程中用電子水平儀多次進(jìn)行測量,并反復(fù)研磨,這樣加工出來的大理石平臺平面度會有明顯提高。環(huán)境對大理石平臺的研磨及檢測也有影響,這種影響一般是指溫度和振動對其影響。在精度加工中和測量過程中對溫度和振動的要求比較高。經(jīng)過實(shí)驗(yàn)分析,采用同一種測量方法對大理石平臺進(jìn)行檢驗(yàn),在恒溫及常溫下檢測,平面度相差3um。